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更新時間：2026-01-24 
瀏覽次數：137SENA「Superbeam」高強度照明燈 8 大主力型號 90 秒速辨
—— 350LSFI / SELONE N / SEL ONE / 185LE / 185LE-AL / 185FI / 370TFI / 370TFIR
| 型號 | 光源/功率 | 峰值照度\* | 主要波長 | 出光形態 | 典型場景 | 冷卻 | 壽命/維護 | 1 秒記憶點 |
| -------- | --------------- | ----------- | ------------------ - | ------------ | ------------------------- | ------- | ------------------- | ----------------- |
| 350LSFI | 脈沖氙燈 350 W | ≈15×10? lx | 420-700 nm 白光 | 12°聚光（30°可選） | 晶圓宏觀閃拍、Reticle 顆粒、Bump 開裂 | 風冷+熱管 | 1×10? 閃、燈管 1 年換 1 次 | “閃光燈"級瞬間 15 Mlx |
| SELONE N | 高密度 LED 120 W | ≈3.8×10? lx | 八通道 405-740 nm 獨立可調 | 24°（可擴散） | 套刻對準、E-beam 預對、3D NAND 預檢 | 自然/水冷 | 50 000 h L70 | 冷光+10 kHz 頻閃 |
| SEL ONE | 廣角 LED 60 W | ≈1.2×10? lx | 3000-6500 K 四通道混色 | 160°超廣角 | Fan-Out 深腔、MEMS 槽、大面積外觀 | 自然散熱 | 50 000 h L70 | 12 mm 超薄，無陰影 |
| 185LE | 鹵素 185 W | ≈4.5×10? lx | 3400 K 連續白光 | 15°（可換擴散/光纖） | 傳統 Overlay、CD-SEM 前預檢 | 風冷/水冷 | 3 000 h | 經典鹵素，性價比高 |
| 185LE-AL | 鹵素 185 W + 鋁反射杯 | ≈5.2×10? lx | 3400 K | 8°聚光 | 長 WD（150-200 mm）宏觀檢查 | 風冷 | 3 000 h | 185LE 的“遠射版" |
| 185FI | 鹵素 185 W + 液芯光纖 | ≈3.5×10? lx | 3400 K | Φ8 mm 光纖出口 | 機械手末端、腔體內照明 | 風冷 | 3 000 h | 彎曲半徑 50 mm 柔性導入 |
| 370TFI | 短弧鹵素 370 W | ≈8×10? lx | 3500 K | 30°/45°可調 | 8-12″ 晶圓全幅宏觀、背面檢查 | 強制風冷+熱管 | 2 000 h，雙燈冗余 | 大面幅“雙燈熱插拔" |
| 370TFIR | 370TFI + 環形導光棒 | ≈6×10? lx | 3500 K | 360°環形 + 頂斜射 | 金線、焊盤、BGA 外觀 AOI | 強制風冷 | 2 000 h | 370TFI 的“環形版"，無陰影 |
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