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技術(shù)文章/ article
更新時(shí)間：2026-05-18 
瀏覽次數(shù)：41在精密科研、電子制造與工業(yè)實(shí)驗(yàn)室場景中，高真空度、低噪音、穩(wěn)定可靠的真空泵是核心輔助設(shè)備。日立旗下 himac 品牌推出的VR16G/VR16 雙級(jí)直結(jié)式油旋轉(zhuǎn)真空泵，以 “靜音低振、節(jié)能高效、極限高真空" 為核心優(yōu)勢，成為電子顯微鏡、質(zhì)譜儀、真空鍍膜、離心濃縮等設(shè)備的理想前級(jí)泵，精準(zhǔn)滿足實(shí)驗(yàn)室與精密工業(yè)對(duì)真空環(huán)境的嚴(yán)苛需求。
一、產(chǎn)品定位與型號(hào)差異
VR16G 與 VR16 同屬 himac 雙級(jí)直聯(lián)油旋片泵系列，核心結(jié)構(gòu)與性能參數(shù)一致，僅在氣鎮(zhèn)閥配置上區(qū)分，適配不同抽氣工況：
VR16（標(biāo)準(zhǔn)型）：無氣鎮(zhèn)閥，專注干燥氣體抽真空，極限真空度更高，適合追求真空的純物理實(shí)驗(yàn)、精密鍍膜、電子器件排氣等場景。
VR16G（氣鎮(zhèn)型）：搭載氣鎮(zhèn)閥（Gas Ballast），可引入少量干燥空氣稀釋可凝性氣體（水蒸氣、有機(jī)溶劑蒸汽），有效防止泵油乳化變質(zhì)，延長換油周期，適配含水、含溶劑的真空干燥、脫泡、蒸餾等場景。
二、核心技術(shù)參數(shù)：精準(zhǔn)匹配精密需求
作為雙級(jí)旋片結(jié)構(gòu)的直結(jié)式泵，VR16 系列以緊湊設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)強(qiáng)勁真空性能，關(guān)鍵參數(shù)如下：
抽氣速率：50Hz 工況 140L/min，60Hz 工況 168L/min，快速建立真空，縮短設(shè)備待機(jī)時(shí)間。
極限真空度：VR16（關(guān)氣鎮(zhèn)）達(dá)10?2Pa 級(jí)；VR16G 開氣鎮(zhèn)時(shí)為 1Pa 級(jí)，兼顧高真空與抗蒸汽能力。
電機(jī)與能耗：AC100V 單相電機(jī)，功率 0.4kW，50Hz 電流 3.2A、60Hz 電流 2.6A，低功耗設(shè)計(jì)，長期運(yùn)行更節(jié)能。
噪音與振動(dòng)：50Hz 高真空狀態(tài)下噪音僅45dB(A)，60Hz 為 48dB (A)，搭配整體防振阻尼支撐，振動(dòng)極低，適配安靜實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。
物理規(guī)格：尺寸 213×488×273mm，重量 26kg，泵油量 0.9L，進(jìn)氣口外徑 φ22mm，小巧緊湊，便于臺(tái)面安裝與移動(dòng)。
三、三大核心優(yōu)勢：科研與工業(yè)的可靠保障
1. 實(shí)驗(yàn)室級(jí)靜音低振，守護(hù)精密實(shí)驗(yàn)
VR16 系列針對(duì)科研場景優(yōu)化噪音與振動(dòng)控制：排氣口搭載專用消音器，將運(yùn)行噪音降至圖書館級(jí)靜音水平；整機(jī)采用防振阻尼底座，減少振動(dòng)傳遞，既避免干擾電子顯微鏡、質(zhì)譜儀等精密設(shè)備的檢測精度，又降低自身部件磨損，延長使用壽命。
2. 雙級(jí)結(jié)構(gòu) + 節(jié)能設(shè)計(jì)，高效穩(wěn)定
雙級(jí)旋片結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)10?2Pa 級(jí)極限真空，滿足高真空?qǐng)鼍靶枨?；直結(jié)式驅(qū)動(dòng)無傳動(dòng)損耗，配合電容運(yùn)轉(zhuǎn)式電機(jī)，能耗比傳統(tǒng)泵降低 30% 以上，長時(shí)間連續(xù)運(yùn)行穩(wěn)定不發(fā)熱，適配 24 小時(shí)不間斷真空作業(yè)。
3. 氣鎮(zhèn)閥差異化設(shè)計(jì)，適配多元工況
VR16G 的氣鎮(zhèn)閥功能解決可凝性氣體抽除難題，防止水蒸氣、溶劑蒸汽導(dǎo)致泵油乳化、真空度下降；VR16 專注干燥氣體，實(shí)現(xiàn)更高極限真空，兩款型號(hào)覆蓋從基礎(chǔ)真空實(shí)驗(yàn)到精密工業(yè)排氣的全場景需求。
四、典型應(yīng)用場景
精密科研儀器：電子顯微鏡、質(zhì)譜儀、光譜儀的前級(jí)泵，為離子泵、擴(kuò)散泵提供穩(wěn)定前置真空。
實(shí)驗(yàn)室真空設(shè)備：真空干燥箱、離心濃縮儀、真空脫泡機(jī)、冷凍干燥機(jī)配套泵。
電子與半導(dǎo)體工業(yè)：半導(dǎo)體晶圓檢測、LCD/OLED 面板排氣、小型鍍膜機(jī)、真空管 / 燈泡制造排氣。
工業(yè)與理化實(shí)驗(yàn)：真空吸附、真空蒸餾、材料脫泡、高校 / 研究所真空實(shí)驗(yàn)裝置。
五、選型與維護(hù)建議
抽除干燥氣體、追求極限真空 → 選VR16
抽除水蒸氣、有機(jī)溶劑蒸汽 → 選VR16G（帶氣鎮(zhèn)）
維護(hù)要點(diǎn)：定期更換專用真空泵油，保持進(jìn)氣口清潔，氣鎮(zhèn)閥定期清潔保養(yǎng)，可大幅延長泵體壽命，維持穩(wěn)定真空性能。
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