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      技術文章/ article
      
        
       您的位置：首頁  -  技術文章  -  SONOSYS 13407-071+噴嘴13792-004 2+3MHz雙頻在掩膜清洗 用途介紹 
      
        
      
      
      
      
      
        	
      SONOSYS 13407-071+噴嘴13792-004 2+3MHz雙頻在掩膜清洗 用途介紹
      
            
      更新時間：2026-02-12      瀏覽次數：147
      
            
      
            	 
      德國 SONOSYS® 雙噴嘴兆聲波清洗系統，專為單晶圓、掩膜、LCD 基板及 MEMS 等精密部件設計。采用多頻率組合技術（1MHz+2MHz/1MHz+3MHz/2MHz+3MHz/2MHz+4MHz），每束 35W 能量聚焦于 2×4mm 微小區域，實現高效非接觸式清洗，避免機械損傷，潔凈度可達優良制造嚴苛標準。

      【產品參數】
      ? 模塊化兆聲波發生器
      • 電氣參數：輸出功率 70W（MLM 1+MLM 2），調節范圍 20%-100%；頻率覆蓋 950kHz-1.05MHz、1.95MHz-2.05MHz、2.95MHz-3.05MHz、3.95MHz-4.05MHz；電源 230VAC 50-60Hz。
      • 機械參數：19 英寸機架 3/4U 設計，外形尺寸 28 HP（165×185×329mm），重量約 5.2kg。
      • 運行條件：環境溫度 10℃-40℃，濕度禁止凝結水。
      ? 兆聲波雙噴嘴
      • 電氣參數：高壓輸入 2×35W，適配 1/2/3/4MHz 頻率；換能器采用特殊 PZT 壓電陶瓷；3 米屏蔽高壓電纜（Φ4.5mm PTFE 材質），噴嘴與匹配盒電纜長 20cm（ 50cm）。
      • 機械參數：外尺寸 74×79.8×37mm，重量約 600g；液體接口 2×1/8" NPT，最小流量 2×1.0L/min，適用溫度 20℃-60℃；噴嘴距待清洗物距離 5-20mm 可調。
      【適用場景】
      ? 半導體行業：單晶圓表面微小顆粒、有機物殘留清洗
      ? 光刻工藝：掩膜版高精度去污，保障圖案轉移精度
      ? 顯示面板：LCD/OLED 基板潔凈度提升，優化顯示效果
      ? 微機電系統：MEMS 器件微小結構內部完整清潔
      【訂貨信息】：
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      【品牌保障】
      德國 SONOSYS® Ultraschallsysteme GmbH 原廠出品，專注兆聲波清洗技術研發，品質可靠。支持技術咨詢與定制化方案，提供*售后服務。


      
            
      
         	
                                            
        
      
      
      
    
      
  
      

      

 



      
  
      
    
    
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