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更新時間：2026-01-12 
瀏覽次數：181產品概述
PF-F系列脫氣模組采用PTFE（聚四氟乙烯）非多孔中空纖維膜，所有與液體接觸部件均為氟樹脂材質，可處理酸、堿、有機溶劑等強腐蝕性液體。其脫氣原理是通過膜內外氣體分壓差，在真空條件下將溶解氣體從液體中分離
全系列型號技術參數
| 型號 | 流量范圍 | 尺寸（直徑×長度） | 耐壓性 | 溫度 | 接口規格 |
| ------------- | ------------ | ----------- | --------- | ---- | ------------------------------ |
| PF-3T-S-F | 1-20 mL/min | 29×58×86 mm | 0.2 MPa | 40°C | 液體側: 4×2mm管接頭<br>真空側: 4×2mm管接頭 |
| PF-03F | 1-100 mL/min | φ102×180 mm | 0.294 MPa | 40°C | 1/4" Super Pillar<br>Rc 1/8 |
| PF-05F | 1-100 mL/min | φ102×180 mm | 0.294 MPa | 40°C | 1/4" Super Pillar<br>Rc 1/8 |
| PF-10F | 1-200 mL/min | φ102×260 mm | 0.294 MPa | 40°C | 1/4" Super Pillar<br>Rc 1/8 |
| PF-13F | 1-300 mL/min | φ102×260 mm | 0.294 MPa | 40°C | 1/4" Super Pillar<br>Rc 1/8 |
| PF-28F | 1-500 mL/min | φ102×440 mm | 0.294 MPa | 40°C | 3/8" Super Pillar<br>Rc 1/8 |
低壓損失型（用于高粘度液體）PF-13F(T)：1-500 mL/min，φ102×260 mm，壓力損失降低40%PF-26F(T)：1-500 mL/min，φ140×450 mm，10mm Super Pillar接口主要用途半導體/LCD制造：光刻膠、稀釋劑、顯影液、剝離液等工藝化學品的脫氣與除泡精密涂層：溶劑型噴墨墨水、功能性涂料的脫氣處理化學品配送系統：強酸（如HF、H?SO?）、強堿（如TMAH、NMD-3）的連續脫氣技術特點化學兼容性：耐受pH 0-14及絕大多數有機溶劑，金屬離子析出 <1 ppb 脫氣效率：在標稱流量下，溶解氧（DO）去除率 >95%，CO?去除率 >98%零泄漏設計：非多孔膜結構確保液體與真空側隔離，避免貴重化學品損失
選型建議小流量/實驗室：PF-3T-S-F（20 mL/min）單點工藝機臺：PF-03F/PF-05F（100 mL/min）多機臺集中供液：PF-13F/PF-28F（300-500 mL/min）高粘度液體：優先選擇PF-13F(T)或PF-26F(T)低壓損失型
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