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      技術文章/ article
      
        
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      深度剖析紫外線臭氧清洗機裝置
      
            
      更新時間：2024-09-05      瀏覽次數：877
      
            
      
            	 
      深度剖析紫外線臭氧清洗機裝置
      一、概述
      該裝置是一種UV臭氧清洗機，可以對各種半導體工藝進行干燥處理。可以進行有機物去除和表面改性，例如光刻膠灰化以及硅和藍寶石晶圓清洗。配備紫外線燈、臭氧發生器和加熱臺，紫外線照射、臭氧和熱量之間的相互作用可以實現高效的清潔和表面改性，而不會對基材造成電氣損壞。
      二、特征
      1.由于同時使用紫外線 (UV)、高濃度臭氧 (O?) 和載物臺加熱器的熱量，因此可以實現高效清潔。
      2.離子或電子不會對元件造成損壞。
      3.由于配備了使用非貴金屬催化劑的臭氧分解器，因此不需要臭氧處理設備。
      4.由于大氣壓處理，不需要真空系統。
      5.一鍵即可實現自動操作。
      三、應用實例
      1.光刻膠灰化、圓盤
      2.親水處理
      3.硅、化合物半導體、晶體、ITO薄膜、透鏡等的清洗。



      
            
      
         	
                                            
        
      
      
      
    
      
  
      

      

 



      
  
      
    
    
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