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      日本KOFLOPI型號 ST-500 系列質量流量控制器的介紹

      更新時間:2024-04-03      瀏覽次數:689

      日本KOFLOPI型號 ST-500 系列質量流量控制器的介紹

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      ■目標流體:氣體 
      ■最大流量:氣體 100SCCM~30SLM
      ■精度:±1%SP (10~100%FS)
          ±0.1%FS (2~10%FS)

      • PI…壓力不敏感
        可針對壓力波動進行穩定的流量控制。

      • 帶隔膜式閥門的金屬密封MFC ,
        通過EP處理和氧化膜處理,
        可兼容腐蝕性流體。

      • 兼容DeviceNet通信

      • 與 W 密封配件兼容

      • SP精度可實現高精度測量,
        1秒內響應全流量控制范圍

      • 帶有專用應用程序的多范圍功能


      現有型質量流量控制器在供給側

      通過對壓力變動過敏反應,瞬間變大

      由于流量紊亂等,當控制變得不穩定時

      有這樣的課題。

      ST-500具有解決該問題PI功能

      (PI…壓力不敏感(壓力不靈敏)

      是新配備的質量流量控制器。


      在流量傳感器前段搭載有壓力傳感器,

      將由此捕捉到壓力變動與變動前的壓力進行比較

      并實時地對閥開度進行校正

      由此,能夠對壓力變動進行穩定流量控制

      是有可能的。

      需要半導體制造裝置等穩定性和準確性

      適用于氣體供給工藝。

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