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      技術(shù)文章/ article
      
        
       您的位置：首頁  -  技術(shù)文章  -  日本理音rion支持氫氟酸的液中粒子傳感器“KS-20F” 
      
        
      
      
      
      
      
        	
      日本理音rion支持氫氟酸的液中粒子傳感器“KS-20F”
      
            
      更新時(shí)間：2024-01-24      瀏覽次數(shù)：746
      
            
      
            	 
      作為在最的先的進(jìn)的半導(dǎo)體制造現(xiàn)場等的質(zhì)量管理中支持氫氟酸溶液的液中微粒測量儀，里昂的能夠測量
        藥液中0.02μm粒子的液中微粒傳感器“KS-20F"。

      迄今為止，我們也向市場投入了測量藥液中0.03μm粒子的液中粒子傳感器。 但是，在最的先的進(jìn)的半導(dǎo)
      體制造工序中，進(jìn)一步推進(jìn)了微小工藝技術(shù)，在半導(dǎo)體工廠和材料、藥液制造商的質(zhì)量管理中，對于微小
      粒子的測量的需求越來越大。 隨著汽車電動(dòng)化、電氣產(chǎn)品智能化( IoT化)、ICT、AI、高速通信規(guī)格( 5G )
      的普及，半導(dǎo)體市場持續(xù)活躍。 因此，通過開發(fā)和投入可測量藥液中0.02μm粒子的液中粒子傳感器，在
      滿足這些市場需求的同時(shí)，以大型半導(dǎo)體制造商為首，謀求擴(kuò)大相關(guān)材料、藥液制造商的訂單。

      基于液中粒子傳感器“KS-20F"的系統(tǒng)構(gòu)成

      「KS-20F」
      測量系統(tǒng)各產(chǎn)品名稱:(左下)液中微粒傳感器KS-20F、(左上)控制器KE-40B1、
      (右)注射器采樣器KZ-31W

      主要特點(diǎn)
        1 )支持氫氟酸溶液，實(shí)現(xiàn)最的小的可測粒徑0.02μm
        2 )可以任意地將粒徑區(qū)分設(shè)定在0.02~0.08μm范圍內(nèi)
        3 )豐富的選項(xiàng)支持批量測量和在線測量
      測量系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示例
      「KS-20F」


      
            
      
         	
                                            
        
      
      
      
    
      
  
      

      

 



      
  
      
    
    
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