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      技術文章/ article
      
        
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      適合曝光裝置的溫度管理 Apiste精密空調機PAU系列
      
            
      更新時間：2023-12-22      瀏覽次數：860
      
            
      
            	 
      【最的適的合曝光裝置的溫度管理】Apiste精密空調機PAU系列
      【最的適的合曝光裝置的溫度管理】Apiste精密空調機PAU系列
      2023-12-20_112802.png
      只需連接就能簡單地實現精密空調。自由調溫包圍的空間的Apiste的精密空調機PAU系列
      [最的適的合曝光裝置的溫度管理]精密空調機PAU系列
      在曝光裝置中，為了抑制光掩模的膨脹和收縮，
      你需要供應冷風，以穩定溫度。
      PAU機組可實現要求溫度、濕度、清潔度的空氣。

      進行局部空間的空調的“PAU系列"包括：
      與整體空調相比，可以抑制能量消耗，更不用說高精度的溫度管理，
      即使對于困難的濕度，也可以根據需要進行從低濕環境到潮濕環境的精密控制。
      此外，通過與風扇過濾器單元的組合，可以輕松實現廣泛的清潔度管理。



      
            
      
         	
                                            
        
      
      
      
    
      
  
      

      

 



      
  
      
    
    
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